笔趣牛>官道红颜她们助我一路升迁中国男孩 > 第421章 光之晶（第3页）
第421章 光之晶（第3页）
“设备呢？”林远问，“离子注入机，我们有吗？”
“有。”王海冰点头，“中科院微电子所有一台国产的样机，虽然不如美国的app1iedmateria1s先进，但注入氢离子够用了。”
“键合机呢？”
“这也是个难题。”李振声皱眉，“铌酸锂和硅的热膨胀系数不同。高温键合会炸裂。我们需要常温键合技术。”
“目前，这项技术掌握在奥地利的eVg公司手里。”
“买！”林远毫不犹豫。
“买不到。”王海冰苦笑，“eVg也在瓦森纳协定名单里。”
又是一堵墙。
没有现成的键合机，就意味着无法把那层珍贵的薄膜贴到硅片上。
贴不上去，一切都是空谈。
“常温键合的原理是什么？”林远问。
“表面活化。”李振声解释，“在真空环境下，用等离子体轰击两个材料的表面，打断表面的化学键，让原子处于饥饿状态。”
“然后，把两个表面贴在一起。”
“原子之间会瞬间形成共价键，就像两个磁铁吸在一起一样。不需要胶水，不需要高温。”
“但这需要极高的真空度和极精密的等离子体控制。”
“如果我们自己造这台机器……”王海冰估算了一下，“大概需要半年。”
“太久了。”林远摇头。
他突然想到了什么。
“等一下。表面活化……等离子体轰击……”
“我们在江钢的工业之心项目里，是不是改造过一批等离子体清洗机？用来清洗汽车钢板表面的？”
“是。”孙大炮通过视频连线回答，“那是用来除油的，粗糙得很。”
“原理是一样的！”林远眼中闪过一丝疯狂。
“把那台清洗机拉过来！”
“我们要对其进行魔改！”
三天后，东海县工厂。
一台被拆得面目全非的工业清洗机，摆在无尘室里。
它的喷头被换成了高精度的离子源，真空泵被换成了分子泵。
“这是土法炼钢啊……”严教授看着这台“怪兽”，直摇头。
“不管黑猫白猫，能抓老鼠就是好猫。”林远站在控制台前。
“第一次键合实验，开始！”
机械臂夹着一片硅晶圆和一片刚剥离下来的铌酸锂薄膜，送入真空腔。
等离子体辉光亮起。
“轰击时间3o秒。”
“贴合压力5oo牛顿。”
“出舱！”
两片材料被紧紧压在一起，送了出来。
李振声戴着手套，小心翼翼地拿起来，放在显微镜下。
所有人都屏住了呼吸。
“怎么样？”林远问。
李振声沉默了很久。
然后，他抬起头，脸上露出了难以置信的表情。
“结合力……完美。”
“界面无气泡，无裂纹。”
“我们……成功了？”
“不。”李振声指着边缘，“还有一个问题。”
“虽然贴上了，但是……不平。”
“我们的土炮清洗机，等离子体分布不均匀。导致薄膜表面出现了纳米级的波浪纹。”
“这种波浪纹，会导致光信号在传输时生严重的散射损耗。”
