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第415章 暗室微光（第2页）

“当实际测量时，我们不需要实时解方程。”

“我们只需要把测到的光斑，去和数据库里的样本进行指纹比对！”

“这就变成了aI图像识别问题。”

“这个我在行！”汪韬猛地一拍大腿，“用盘古做特征匹配，毫秒级就能出结果！”

“但这需要海量的训练数据。”

“数据我有。”林远从公文包里拿出一个硬盘，“这是我们之前在asmL做测试时，偷偷保存下来的，几百万张缺陷扫描图和对应的散射数据。”

“那是我们的种子。”

疯狂的盲人摸象。

方案确定，立刻执行。

这是一套极其简陋，却又极其科幻的检测系统。

没有昂贵的镜头，没有真空腔体。

只有一个暗盒，一束激光和一个连接着青川智算中心的数据线。

“第1o8号样品，上机。”

激光打在晶圆上，反射出一圈圈迷离的光晕。

数据疯狂上传。

青川，数千张gpu卡全运转，在浩瀚的数据库中寻找匹配的指纹。

五分钟后。

屏幕上，不再是模糊的照片，而是一个由计算机生成的3d模型。

模型清晰地显示光刻胶的线条边缘，出现了锯齿状的“驻波效应”。

“看清了！”赵博士激动得跳了起来，“是驻波！是因为底部抗反射涂层的折射率没调好！”

“调整BaRc配方！折射率增加o。o2！再试！”

虽然这套系统的精度约2纳米不如sem，度也慢，但它让墨子团队，终于在黑暗中，看到了一丝微光。

闭环，重新接通了。

解决了看的问题，接下来是更难的造的问题。

江钢集团，焦化厂，精制车间。

这里是江钢最脏、最臭的地方。黑色的煤焦油在巨大的管道中流淌，空气中充满了硫化氢和苯的味道。

谁能想到，纳米级光刻胶的源头，竟然是这一堆黑乎乎的粘稠液体。

林远穿着厚重的防护服，站在一座高达6o米的巨大精馏塔前。

孙大炮指着这座刚刚改造完成的巨塔，声音在防毒面具后显得有些闷。

“主任，这是我们按您的要求，用316L电解抛光不锈钢重新焊的级精馏塔。”

“塔高68米，内部填充了相当于2oo层楼高的规整填料。”

“我们的目标，是从煤焦油里，提炼出纯度达到99。9999%（6n）的间甲酚。”

间甲酚，是合成光刻胶树脂的核心单体。

日本信越化学，就是靠着对这种单体提纯技术的绝对垄断，卡住了全世界的脖子。

“现在的纯度是多少？”林远问。

“99。9%（3n）。”孙大炮无奈地摇摇头，“这已经是工业级的极限了。再往上提，每提高一个9，难度就是指数级上升。”

“主要杂质是什么？”

“同分异构体，对甲酚。”

孙大炮解释道“间甲酚和对甲酚，沸点只差o。3度！在普通的精馏塔里，它们根本分不开，就像水和奶混在一起一样。”

“日本人是用结晶法分离的，那是他们的核心机密，我们搞不到。”

o。3度的沸点差。