“不用换零件。”林远指着控制面板,“换脑子。”
“这台机器之所以温控不准,是因为它的控制逻辑是傻瓜式的pId控制。它不知道加热丝老化了,也不知道真空度在变。”
“汪总,”林远连线汪韬,“给这台炉子,装一套aI温控系统。”
“在炉子里,加装一百个传感器。”
“实时监测每一个点的温度变化。”
“然后,用aI去预测温度的波动,提前调整功率。”
“虽然加热丝烂了,但只要我们控制得够快、够准,烂车也能开出法拉利的度!”
这是一场“由于贫穷而引的技术爆炸”。
工程师们把炉子拆得七零八落,缠满了各种线缆。
“启动aI接管模式。”
炉子轰鸣起来。
屏幕上的温度曲线,原本像心电图一样乱跳。
在aI介入后,曲线开始慢慢变平,变直。
误差±3度……±1度……±o。2度!
“稳住了!”汉斯惊叹,“这aI简直是化腐朽为神奇!”
炉子好了,接下来是“挖坑”。
要在硅片上刻出深宽比达到1o:1的纳米深坑,而且侧壁要绝对垂直。
这需要“深硅刻蚀dRIe”技术。
国内的刻蚀机,刻浅坑还行,刻深了,侧壁就会变成“V”字形,或者像狗啃一样。
“怎么办?”王海冰看着显微镜下的废片,“侧壁不直,缺陷锁不住。”
“用博世工艺Boschprocess?”
“试过了。博世工艺会在侧壁留下波浪纹snetg,更糟糕。”
林远盯着那些坑。
“既然刻不直……”
“那我们就修直。”
“怎么修?”
“湿法腐蚀。”
林远想起了他在大学学过的晶体知识。
“硅晶体是有方向的。它的111晶面,化学性质非常稳定,很难被腐蚀。”
“我们用氢氧化钾koh溶液去泡它。”
“强碱会把其他乱七八糟的面都腐蚀掉,最后只剩下那个最硬、最平、最直的111面!”
“这叫自停止腐蚀。”
“利用大自然自己的规则,去修整出完美的墙壁!”
坑挖好了,炉子稳了。
最后的时刻到了。
陆曼颤抖着手,将一片处理好的硅片放进了炉子里。
“开始生长。”
源炉打开。铟和磷的原子束,像蒸汽一样喷射出来,落在那一个个微小的深坑里。
这是一个微观世界的奇迹。
原子们落入坑底,开始排列。因为“脚不合鞋”,裂纹产生了。
裂纹沿着45度角向上生长。
“砰!”