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第428章 上门投靠（第3页）
“去检查镜片。”
工程师打开真空管道，取出了反射镜。
所有人倒吸一口凉气。
原本晶莹剔透的镜片表面，覆盖了一层薄薄的、黑色的物质。
“是碳。”张教授用光谱仪测了一下。
“哪里来的碳？”林远问，“我们的管道是高真空uhV，1o的负9次方帕。怎么会有碳？”
“光化学污染。”
汉斯叹了口气。
“真空系统里，不可避免地会有微量的有机挥物Vocs。比如密封圈释放的烷烃、泵油的蒸汽。”
“在193nm高能光子的轰击下，这些有机分子会生裂解，碳原子沉积在镜片表面，形成石墨层。”
“石墨对紫外光是强吸收的。这层膜越厚，吸收越强，镜片越热，最后炸裂。”
这是深紫外光学系统的癌症。asmL当年为了解决这个问题，花了整整五年。
“换金属密封圈？换无油泵？”王海冰问。
“没用。哪怕是一个分子的有机物，时间长了也会累积。”
“不能防，只能洗。”
林远提出了方案。
“我们不能每次都把镜子拆下来洗。那样光路又要重新调。”
“我们要搞原位清洗。”
“在每个反射镜仓里，安装一个射频等离子体生器。”
“当我们不曝光的时候，向仓内通入微量的氧气。”
“激氧等离子体。”
“活性氧原子o会与镜片上的碳生反应，生成二氧化碳气体，被真空泵抽走。”
“这叫光刻机的透析。”
风险就是氧等离子体如果不控制好，会连同镜片上的镀膜一起腐蚀掉。
“汪总，这又需要你的算法了。”
“根据碳沉积的率，精确控制清洗时间和功率。多一秒伤膜，少一秒洗不净。”
一个月后。
所有子系统就位。
高反射率氟化物膜、主动稳像Fsm系统、原位等离子清洗系统。
“全系统联调。”
林远站在光刻机车间。
5o米外，地下掩体里，ssmB光源全功率输出。
“光闸打开！”
一道看不见的深紫外光束，穿过了漫长的真空管道，在8面反射镜上跳跃、折射。
它躲过了地面的震动，穿透了黑色的碳膜，最终……
轰击在光刻机的照明系统入口处。
功率计读数跳动
接收功率65。
传输效率65%！
