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第415章 暗室微光（第1页）

江州，江钢老厂区，墨子实验室。

死寂。

比之前的失败更令人绝望的死寂。

实验室中央，那台价值昂贵的日立扫描电子显微镜屏幕上，显示着冰冷的“serviceLocked”（服务锁定）。这是厂商通过远程固件升级，强制锁死了设备的核心功能。

旁边的kLa暗场缺陷检测仪，同样处于瘫痪状态。

赵博士手里拿着一片刚刚显影出来的晶圆，手在微微颤抖。

“林董，我们……我们现在是瞎子。”

“我们刚刚试制了第1o7号配方。理论上，这次我们用电解抛光的不锈钢桶解决了金属离子污染问题。但是……”

赵博士指着那片晶圆，声音带着哭腔

“我们看不见上面的图形。”

“光刻胶的线宽只有4o纳米。肉眼看不见，光学显微镜看不见。没有sem，我们根本不知道线条是直的还是弯的，不知道侧壁有没有坍塌，不知道沟槽里有没有残留。”

“我们连是成是败都不知道，怎么优化？”

这就好比蒙着眼睛雕刻大米，你甚至不知道自己刻的是字还是划痕。

王海冰站在一旁，脸色铁青“我联系了国内的几家检测设备厂，他们的精度只能做到9o纳米，对于arF浸没式光刻胶的验证，完全不够用。”

检测设备的缺失，直接切断了研的反馈闭环。

林远看着那台被锁死的显微镜，目光幽深。

“物理的眼睛瞎了。”

“那我们就用……数学的眼睛。”

林远没有废话，直接拿起了电话。

“汪韬，带上你的人，还有盘古视觉大模型，马上来江钢。”

“另外，让汉斯把他在德国的光学实验室团队也拉进视频会议。”

一小时后，临时作战室。

林远在白板上画了一个激光照射晶圆的示意图。

“我们没有电子显微镜，没法直接看到微观结构。”

“但是，我们有激光。”

“当激光照射到晶圆表面那些微小的电路结构时，会生衍射和散射。”

“这些散射光，虽然看起来是一团乱麻，但它包含了表面结构的所有信息。”

林远看向汪韬和汉斯。

“我要你们做一套光学散射测量系统。”

“硬件不需要复杂的透镜。只需要一个高精度的激光光源，和一个能捕捉散射光斑的ccd传感器。这个我们自己能搭出来。”

“软件这才是核心。”

“汪总，我要你用盘古模型，去解麦克斯韦方程组的逆问题。”

“即根据接收到的散射光斑，反向推算出晶圆表面的三维形貌。”

“这在数学上叫相位恢复。”

汪韬推了推眼镜，眼中闪过一丝狂热，但也有一丝犹豫。

“理论上可行。这叫计算成像。但是，计算量是天文数字。”

“要从一堆杂乱的光斑里，猜出纳米级的结构，每一次测量，都需要进行数亿次的迭代运算。”

“按照现在的算力，检测一片晶圆，可能需要一个月。”

“太慢了。”王海冰摇头，“产线等不起。”

“那就用库。”汉斯突然开口。

“我们可以预先建立一个庞大的散射特征库。”汉斯解释道，“我们模拟出千万种可能的光刻胶缺陷形态，如倒塌、桥接、驻波，然后计算出它们对应的散射光斑。”