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第414章 换个思路（第1页）
江州，江钢集团，老厂区，墨子光刻胶验证线。
这是一间由老旧厂房改造的千级洁净室。
空气中弥漫着光刻胶特有的刺鼻溶剂味。
这里没有鲜花，没有掌声，只有刺耳的警报声。
“滴——！滴——！滴——！”
那台林远费尽心思，从江钢仓库里扒出来的，已有二十年历史的二手尼康nsR-s2o4B光刻机，突然停止了运转。
红色的警报灯疯狂闪烁，将实验室里每一个人的脸庞都映得惨红。
“怎么回事？”负责现场工艺的张明冲到控制台前。
操作员脸色煞白，指着屏幕上的一行错误代码，手指都在颤抖。
“errornettaminationdetenetsityLoss＞15%。”
错误代码22o4检测到镜头污染。光强损失过15%。
张明只觉得脑子里嗡的一声。
镜头污染。
这是光刻工艺中，最严重的事故之一。
如果是硅片报废，也就是损失几百美金。
但如果是光刻机的投影物镜被污染，那意味着这台价值几千万的设备，可能要大修，甚至报废。
“停机！马上停机！”张明嘶吼道，“把晶圆退出来！快！”
一小时后，分析实验室。
那片肇事的晶圆，被放在了原子力显微镜下。
林远、王海冰、以及墨子材料的创始人赵博士，围在屏幕前。
屏幕上，原本应该平整光滑的光刻胶表面，此刻却像月球表面一样，布满了坑坑洼洼的斑点和不明颗粒。
更可怕的是，在显影后的沟槽里，残留着一层白色的胶状物质。
这就是导致镜头污染的罪魁祸，光刻胶在曝光过程中，生了非预期的化学反应，产生了不可溶的沉淀物，并挥到了镜头上。
“赵博士，”林远的声音很轻，却冷得像冰，“这是怎么回事？”
“我们的配方是没问题的……”赵博士满头大汗，拿着一叠厚厚的实验数据，“在实验室的小样测试里，良率明明达到了9o%……”
“我要的不是实验室的数据！”林远猛地打断了他，“我要的是，为什么上了产线，就变成了毒药？”
王海冰拿着一份刚刚出来的光谱分析报告，递给了林远。
“林董，原因找到了。”
“不是配方的问题。”
“是杂质。”
王海冰指着报告上那几个刺眼的峰值。
“我们在光刻胶里，检测到了钠和铁离子。”
“浓度5oppb十亿分之五十。”
“5oppb？”林远皱眉，“这很高吗？”
“对于食品工业，这比纯净水还干净。”王海冰苦笑，“但对于半导体光刻胶，这是剧毒。”
“光刻胶对金属离子的管控要求，是ppt（万亿分之一）级别。也就是个位数ppt。”
“5oppb，相当于标准值的一千倍！”
“这些金属离子，在深紫外光的照射下，充当了催化剂，改变了光引剂的化学反应路径，导致光刻胶交联过度，变成了洗不掉的石头。”
“而且，”王海冰的声音越来越低，“钠离子是移动电荷，它会穿透栅极氧化层，直接杀死下方的晶体管。这批晶圆，就算光刻出来了，电学性能也是废的。”
全军覆没。
